华洋精机联手蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M，支持纳米级精度

来源摘要

IT之家 10 月 9 日消息，中国台湾地区半导体设备制造商华洋精机本月 5 日宣布携手 ZEISS（蔡司）推出瞄准光罩（掩膜）、先进封装、晶圆领域高精度测量需求的 COSMA-M。该设备可提供纳米级测量精度，稳定度达 3σ＜3nm，能满足先进制程对高精度测量的严苛要求，结合配套模块可实现全自动化测量。IT之家了解…

摘要由机器生成（来自来源站点），可能存在偏差； 本站不转载全文，请以原文为准。