尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率 1.5μm、明年上市

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IT之家 10 月 14 日消息，尼康公司昨日发布面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率为 1.5μm（线宽 / 线距），每小时可处理 72 块面板，计划 2027 年 4 月上市。据介绍，这款产品是 DSP-100 的升级版本，面向半导体后道工序。该产品针对 1.5μm（L/S）分辨率重新设计光学系统，处理能力相比前…

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