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盛美上海:首台量产型 310×310mm 面板级水平电镀设备出机至中国大陆以外的亚洲市场

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IT之家 10 月 29 日消息,盛美半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“盛美上海”)今日宣布,盛美上海首台量产型 310mm×310mm 面板级水平电镀设备 UltraECP ap-p 顺利出机至中国大陆以外的亚洲市场。据介绍,随着先进封装技术持续发展,面板级工艺因其适用于大尺寸基板加工而受到产业关注。电镀是相关制造流程中的最重要的环节之一,设备的稳定性、电镀金属膜厚的均匀性与稳定性,关系到工艺导入的产品良率和生产效率。

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